型号MP-DHC-250-6AX-OM ,为波导双端水平耦合系统;左右两侧均配置 X、Y、Z、θX、θY、θZ 六维自由度,采用双端水平耦合器件实现耦合作业。 整套设备由左右调整对准单元、载物台、夹具、安装平台、观察系统、真空泵附件组成,支持 OMTOOLS 品牌配置或进口品牌选型。
产品特点
六轴高精度调整台
精准载物定位
双类型夹持方案
稳固安装基底
高清可视化观测系统
配套真空吸附动力
产品应用
光电集成与封装
先进计算与存储
前沿研究与传感
详细参数
技术规格表
模块 | 参数项 | 规格数值 |
整机 | 耦合方式 | 双端水平耦合器件 |
左右自由度 | X、Y、Z、θX、θY、θZ | |
左右调整台(左右相同) | 调节形式 | 手动 6 轴 |
XYZ 粗调行程 | ±6.5 mm | |
XYZ 微调行程 | ±0.3 mm | |
XYZ 粗调刻度 | 10 μm / 格 | |
XYZ 微调刻度 | 0.5 μm / 格 | |
θX、θY 调节范围 | ±2.5°,0.008°/ 刻度 | |
θZ 调节范围 | ±4°,0.008°/ 刻度 | |
调节特性 | 全轴连续可调 | |
品牌选择 | 进口 / OMTOOLS | |
载物台 | XY 行程 | 25 mm |
Z 行程 | 10 mm | |
调节刻度 | 10 μm / 格,连续可调 | |
品牌 | OMTOOLS | |
夹具 | 水平光纤夹具角度范围 | 粗调 - 90°~+90°,精调 5°,0.02°/ 刻度 |
适配光纤 | ≤250 μm | |
波导夹具类型 | 真空吸附式 | |
安装平台 | 光学平板型号 | HPBC0906B |
平板尺寸 | 900 mm×600 mm,厚 13 mm | |
防尘罩 | 可定制 | |
观察系统 | 相机 | 高清 HDMI 工业测量相机 |
镜头型号 | OM-0650 | |
镜头倍率 | 6.5X 可变焦 | |
显示器型号 | AOC21 | |
视频分割器型号 | OM401 | |
显示模式 | 双显示 | |
光源 | LED 环形光源 | |
镜头支撑结构 | 燕尾槽滑台,三自由度调节 | |
真空泵 | 类型 | 无油真空泵 |
真空度 | -0.093 MPa | |
流量 | 140 L/min | |
配套件 | 管线、接头 |
