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科研级高重频深紫外皮秒激光器


波长:266 nm;平均功率:≥4W;重复频率:120 MHz;偏振消光比:>100:1;冷却方式:水冷;

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产品总览

高重频紫外、深紫外皮秒激光器是一款面向半导体检测、精密光谱分析及微细加工应用开发的科研级超快激光光源。产品提供 266 nm深紫外及 355 nm紫外两种输出波长,脉冲宽度为 10 ps,重复频率z高达到 120 MHz。高重复频率输出可满足半导体检测等场景对高频稳定激光光源的需求。

 

产品特点

120 MHz高重复频率

266 nm深紫外波长

10 ps超短脉冲

优异的光束质量

长寿命设计

 

产品应用

半导体材料表面检测

激光诱导击穿光谱

激光诱导荧光

紫外拉曼光谱仪

 

尺寸图

2.1.png

 

详细参数

参数

指标

典型波长

266 nm

重复频率

120 MHz

脉冲宽度

10ps

平均功率

≥4 W

光束质量 M²

<1.3

偏振消光比

>100:1

出口光斑直径

3 mm

出口光束发散全角

<0.25 mrad

平均功率稳定性

RMS<1%

冷却方式

水冷

 

产品测试结果

典型光束质量

2.2.png

 

典型光斑

2.3.png

 

高功率RMS功率稳定性测试结果

2.4.png

 






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