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高精度直驱线性位移台


精度(单向):8 µm;自动检测:是;运动轴数:1;内置控制器:否;编码器计数分辨率:1 nm;编码器类型:线性模拟编码器;力常数:2.23 N/A;限位或归位传感:光学索引标记;

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产品总览

MP-DDS-10-8-0.05是一款采用动磁式音圈电机直驱技术的高精度单轴线性位移台,具有 10 mm 行程。产品内置高分辨率线性模拟编码器,直接检测工作台实际位置,可实现纳米级位置反馈、快速响应及高重复定位性能。该产品取消了丝杆、齿轮和皮带等机械传动部件,电机推力直接作用于运动平台,从而减少背隙、摩擦、磨损及传动误差。配合推荐的 MCC/X-MCC 48 V 控制器,可用于快速点位运动、精密扫描和多轴协调运动。产品采用防蠕动交叉滚柱轴承导向,兼顾运动精度、结构刚性和长期运行稳定性,适合显微成像、光学对准、半导体检测、纳米定位及精密自动化设备。

 

产品特点

磁式音圈电机直驱,无丝杆传动背隙;

线性模拟编码器直接位置反馈;

防蠕动交叉滚柱轴承

 

产品应用

光学元件精密定位

显微镜样品扫描

超分辨率成像

半导体晶圆检测

精密测量仪器

高速短行程扫描

 

详细参数

技术规格表 

参数

数值

精度(单向)

8 µm

自动检测

运动轴数

1

内置控制器

编码器计数分辨率

1 nm

编码器类型

线性模拟编码器

力常数

2.23 N/A

导轨类型

防爬行交叉滚柱轴承

限位或归位传感

光学索引标记

Max. 持续推力

5 N

Min. 速度

0.61 nm/s

Min. 增量运动

10 nm

电机接口

D-sub 26

电机类型

动磁式音圈电机

安装接口

M3 和 M6 螺纹孔

动子质量

0.18 kg

工作温度范围

0~50 °C

峰值推力

15 N

推荐控制器

X-MCC (48 V) 推荐

重复定位精度

< 0.05 µm

速度分辨率

0.61 nm/s

行程范围

10 mm

真空兼容

总重量

0.5 kg



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