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3um线宽小型桌面台式无掩模光刻系统 PALET DDB-701系列  

3um线宽小型桌面台式无掩模光刻系统 PALET DDB-701系列
桌面尺寸无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。


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产品型号 2
货号 操作 名称
E80100175  桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL   [PDF] 载物台:电动 XYZθ;曝光光源:365nm (typ.) LED;Min. 线宽3μm 或 115μm; 单次曝光面积:1mm×0.6mm 或5mm×3mm;每张照片曝光时间:1~2 sec. 或 15~30 sec. ;Max. 曝光区域:25mm×25mm(自动连接);可接受的工作尺寸:60mm ×60mm (t3mm);相容文档格式:DXF JPEG PNG BITMAP XPS; 主体尺寸:300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100174  桌面台式无掩模光刻系统 手动 PALET DDB-701-MS   [PDF] 载物台:手动 XYZθ;曝光光源:365nm (typ.) LED;Min. 线宽3μm 或 115μm; 单次曝光面积:1mm×0.6mm 或5mm×3mm;每张照片曝光时间:1~2 sec. 或 15~30 sec. ;Max. 曝光区域:25mm×25mm(手动连接);可接受的工作尺寸:60mm ×60mm (t3mm);相容文档格式:DXF JPEG PNG BITMAP XPS; 主体尺寸:300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
总览

桌面尺寸无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。

产品特点

硬件特性

小型化 

内置隔振机构和真空吸油泵

只需要电源和光刻间 

img_15.png


软件特性

用户方便型接口

简易流程

支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型

img_16.png


通用参数

曝光示例

电路/传感器模式

电路图晶体管图案磁性传感器模式
图片1.png图片2.png图片3.png


三维结构*×2 仅物镜

高向柱结构

厚膜流体路径结构

胚胎干细胞培养结构

图片4.png图片5.png图片6.png



型号

DDB-701-MS

DDB-701-DL

载物台(Stage)

手动 XYZθ载物台

电动 XYZθ载物台

 曝光光源

365nm (typ.) LED

Min. 线宽

3μm *1
15μm *2

单次曝光面积

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2

每张照片曝光时间*3

1~2 sec. *1
15~30 sec. *2

Max. 曝光区域

25mm×25mm(手动连接)

25mm×25mm(自动连接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)

相容文档格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS

主体尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)

主机重量

30kg

*1在使用×10物镜的情况下

*2在使用×2物镜的情况下

*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)











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