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特殊衍射光栅  

特殊衍射光栅
产品特征:• 特殊的衍射波前误差• 全光圈均匀度高• 坚固的蚀刻结构• 优秀的特征定位精度•可能实现两个维度上的空间变化周期产品应用:啁啾脉冲放大波束组合精密定位与计量用于高强度激光器的球形和圆柱形聚焦元件产品参数:产品参数规格尺寸高达920mm×600mm周期/频率200 nm – 20 μm / 50 – 5,000 lines/mm深度10 – 5,000 nm (取决于周期/频率)衍射波前误差< λ /4PV(typ.RMS<1nm/inch!)基底材料种类多(Shou选熔融石英)涂层材料种类多(金属和电介质) Plymouth Grating Lab Shou次商业化扫描束干涉光刻(SBIL),最初由麻省理工学院开创,用于生产具有出色均匀性、高激光损伤阈值和真空低应力的米级多层电介质(MLD)衍射光栅。PGL随后将其技术扩展到包括金属反射光栅、透射光栅、二维光栅,甚至包括……


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产品型号 6
货号 操作 名称
多层介质(MLD)衍射光栅   [PDF] 光栅类型:反射型 衍射效率:典型.95– 98% 衍射波前误差:< 1 /3(取决于尺寸) 激光损伤阈值:2.5 J/cm2@1054 nm; 10 ps 带宽:典型. 30-40 nm    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
高能激光光谱光束合成光栅   [PDF] 光栅类型:多层介质(MLD)反射 衍射效率:典型.96– 99% 衍射波前误差:< λ / 4(与尺寸相关) 激光损伤阈值:100's of kW / cm2 带宽:> 50 nm (Typ. 1030-1080 nm) 偏振态:非偏振(TE和TM)    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
透射衍射光栅   [PDF] 衍射效率:典型.93– 96% 衍射波前误差:< λ / 4(大小相关) 激光损伤阈值:15 J/cm2 @1054 nm; 10 ns 带宽:典型. 10's to > 100 nm    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
镀金衍射光栅   [PDF] 光栅类型:反射型 衍射效率:典型.95– 98% 衍射波前误差:< 1 /3(取决于尺寸) 激光损伤阈值:2.5 J/cm2@1054 nm; 10 ps 带宽:典型. 30-40 nm    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
混合金属-电介质衍射光栅   [PDF] 光栅类型:反射型 衍射效率:典型.93 – 96% 衍射波前误差:< 1 /3(取决于尺寸) 激光损伤阈值:TBD* 带宽:可高达200nm    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
二维(2D)衍射光栅   [PDF] 光栅类型:透射或反射型 衍射效率:多阶Multi-Order 衍射波前误差:< λ /4(取决于尺寸) 激光损伤阈值:中-高(取决于类型) 带宽:低(典型.单波长)    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
总览

产品特征:

• 特殊的衍射波前误差

• 全光圈均匀度高

• 坚固的蚀刻结构

• 优秀的特征定位精度

•可能实现两个维度上的空间变化周期

产品应用:

啁啾脉冲放大

波束组合

精密定位与计量

用于高强度激光器的球形和圆柱形聚焦元件


产品参数:


产品参数

规格

尺寸

高达920mm×600mm

周期/频率

200 nm – 20 μm / 50 – 5,000 lines/mm

深度

10 – 5,000 nm (取决于周期/频率)

衍射波前误差

< λ /4PV(typ.RMS<1nm/inch!)

基底材料

种类多(Shou选熔融石英)

涂层材料

种类多(金属和电介质)

 

Plymouth Grating Lab Shou次商业化扫描束干涉光刻(SBIL),最初由麻省理工学院开创,用于生产具有出色均匀性、高激光损伤阈值和真空低应力的米级多层电介质(MLD)衍射光栅。PGL随后将其技术扩展到包括金属反射光栅、透射光栅、二维光栅,甚至包括由曲线组成的聚焦光栅。我们的重点是激光光栅和激光系统,应用于科学研究、工业、医疗、国防和半导体市场。PGL不仅在光栅写入方面,而且在光学涂层、反应离子蚀刻、光学计量以及大型光学器件的精密清洁、检查和处理方面都发展了特殊的专业知识。

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产品详细信息


下表说明了常见类型的PGL光栅的规格典型值和范围。

PGL的不一样功能使得以与标准直线光栅相同的效率、均匀性和可重复性制造具有可变周期和凹槽方向的光栅,从而实现啁啾和聚焦光栅。

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产品参数

多层电介质(MLD)光栅

镀金光栅

透射光栅

2D光栅

光栅类型

反射型

反射型

透射型

反射型或者透射型

衍射效率

典型值.95-98%

典型值.91-94%

典型值.93-96%

多阶(Multi-order)

波前误差[1]

λ/3

λ/4

λ/4

λ/4

激光损伤阈值

高(2.5J/cm2 1054nm 10ps)

中(0.25J/cm2 800nm 100fs)

高(15J/cm2 1054nm 10ns)

中到高(取决于尺寸

带宽

中(典型值.30-40nm)

高(高达200nm)

中到高(10s到>100nm))

低(典型值.单波长)

Max. 尺寸[2]

920mm×600mm

920mm×600mm

470mm×470mm

920mm×600mm

[1] 取决于基板尺寸和纵横比

[2] 主要受当前纳米尺配置的限制,但受蚀刻设备限制的较深透射光栅除外











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