货号 | 操作 | 名称 | 描述 |
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图片 | 名称 | 货号货期 | 描述 | 价格 |
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产品特征:
• 特殊的衍射波前误差
• 全光圈均匀度高
• 坚固的蚀刻结构
• 优秀的特征定位精度
•可能实现两个维度上的空间变化周期
产品应用:
啁啾脉冲放大
波束组合
精密定位与计量
用于高强度激光器的球形和圆柱形聚焦元件
产品参数:
产品参数 | 规格 |
尺寸 | 高达920mm×600mm |
周期/频率 | 200 nm – 20 μm / 50 – 5,000 lines/mm |
深度 | 10 – 5,000 nm (取决于周期/频率) |
衍射波前误差 | < λ /4PV(typ.RMS<1nm/inch!) |
基底材料 | 种类多(Shou选熔融石英) |
涂层材料 | 种类多(金属和电介质) |
Plymouth Grating Lab Shou次商业化扫描束干涉光刻(SBIL),最初由麻省理工学院开创,用于生产具有出色均匀性、高激光损伤阈值和真空低应力的米级多层电介质(MLD)衍射光栅。PGL随后将其技术扩展到包括金属反射光栅、透射光栅、二维光栅,甚至包括由曲线组成的聚焦光栅。我们的重点是激光光栅和激光系统,应用于科学研究、工业、医疗、国防和半导体市场。PGL不仅在光栅写入方面,而且在光学涂层、反应离子蚀刻、光学计量以及大型光学器件的精密清洁、检查和处理方面都发展了特殊的专业知识。
产品详细信息
下表说明了常见类型的PGL光栅的规格典型值和范围。
PGL的不一样功能使得以与标准直线光栅相同的效率、均匀性和可重复性制造具有可变周期和凹槽方向的光栅,从而实现啁啾和聚焦光栅。
产品参数 | 多层电介质(MLD)光栅 | 镀金光栅 | 透射光栅 | 2D光栅 |
光栅类型 | 反射型 | 反射型 | 透射型 | 反射型或者透射型 |
衍射效率 | 典型值.95-98% | 典型值.91-94% | 典型值.93-96% | 多阶(Multi-order) |
波前误差[1] | <λ/3 | <λ/4 | <λ/4 | <λ/4 |
激光损伤阈值 | 高(2.5J/cm2 1054nm 10ps) | 中(0.25J/cm2 800nm 100fs) | 高(15J/cm2 1054nm 10ns) | 中到高(取决于尺寸 |
带宽 | 中(典型值.30-40nm) | 高(高达200nm) | 中到高(10’s到>100nm)) | 低(典型值.单波长) |
Max. 尺寸[2] | 920mm×600mm | 920mm×600mm | 470mm×470mm | 920mm×600mm |
[1] 取决于基板尺寸和纵横比
[2] 主要受当前纳米尺配置的限制,但受蚀刻设备限制的较深透射光栅除外