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IXY 系列双轴高精密运动平台  

卓越的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计,满足最高动态性能要求的各种应用,是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。

卓越的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计,生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。

综合技术咨询 Deyan Pan 17612171289 同微信,可扫码

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deyan.pan@microphotons.com

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产品型号
纵向   横向
型号 货号 操作 名称
IXY100-PAA-CMS E80100007 IXY 系列双轴高精密运动平台   [PDF] IXY100: 行程100X100 光栅尺类型-P: Invar Based Scale 编码器输出AA: Sin/Cos 电缆输出-CMS: With CMS Box 8-10周
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通用参数

产品特点

结构精巧的双轴高精密运动平台

双电机可实现高产量

高刚性,良好的兼容性

导向精度高,精准定位


产品应用

二维激光加工

激光直写

光学测量

自动显微镜


技术参数


IXY100

IXY200

行程

100mm

200mm

精度

-P: 1.0μm

-C: 1.5μm

-P: 1.5μm

-C: 2.0μm

重复定位精度(3σ)

-P: 0.3μm

-C: 0.6μm

-P: 0.5μm

-C: 0.8μm

运动分辨率 *1

AA: 10nm

DS: 200nm

AA: 10nm

DS: 200nm

最大速度 *2

200mm/s

300mm/s

最大加速度 *2

0.5g

0.5g

水平方向直线度

1.5μm

3μm

垂直方向直线度

2μm

4μm

偏航角

15μrad

30μrad

俯仰角

50μrad

100μrad

装载质量 *3

10kg

20kg

*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率,欢迎垂询。

*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度,欢迎垂询。

*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求,优化高精密运动平台设计。

订购信息

型号示例:

IXY100/IXY200 – PAA – CMS


型号说明:

系列

行程

光栅尺类型

编码器输出

电缆输出

IXY

100:   100X100

-P:   Invar Based Scale

AA:   Sin/Cos

-CMS: With   CMS Box


200: 200X200

-C: Gold Tape   Scale

DS: 100nm A/B/Z

-C01: 1m Cable




DC:   Customize

-C03: 3m   Cable

 

控制系统:

1、根据精密运动平台参数和应用要求,提供不同的控制系统方案。 

2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。


 

尺寸图


系列

S

A

H

M

IXY100

100

255

102

150

IXY200

200

365

102

200

单位


(unit   in mm)











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