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台式X射线源 工作波长20nm 脉宽7ns 重复频率10 Hz  2021-09-01

激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。

产品型号
纵向   横向
型号 货号 操作 名称
EUV-B-XRAY B80020087 20nm 台式X射线源 脉宽 7 ns [查看参数表] 工作波长 20nm;脉宽 7 ns;脉冲能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);转换效率 0.45% ;等离子形状 Ø ~ 300 µm;重复频率 10 Hz
产品特点

● 低残留

● 高EUV能量(3.5 MJ)

● 最低耗气量(气体脉冲持续时间:<1 ms)

● 简单目标气体交换

● 桌面系统

技术参数

参数

单位

指标

产品编号


EUV-B-XRAY

工作波长

nm

20nm

脉宽

ns

7

脉冲能量(Xe

mJ

3.5(4π sr, 2% BW)

转换效率

%

0.45

等离子形状

NA

Ø ~ 300 µm

重复频率

HZ

10


测试数据展示:

tc.pngtc_副本.png


tc1.png

产品应用

● 计量:反射测量、吸收

● 光谱学(nexafs)

● 光学/传感器测试

● EUV损坏调查

● 材料相互作用基础研究

● 水窗显微镜(λ=2..4纳米)

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